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Journal of Micro-Nanolithography MEMS and MOEMS

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期刊名字Journal of Micro-Nanolithography MEMS and MOEMS

J MICRO-NANOLITH MEM
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期刊ISSN1932-5150
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E-ISSN1932-5134
2019-2020自引率14.20%登录查看自引率趋势图
h-index 37
CiteScore
CiteScoreSJRSNIPCiteScore排名
3.300.3940.780
学科分区排名百分位
大类:Engineering
小类:Mechanical Engineering
Q2207 / 596
大类:Engineering
小类:Electrical and Electronic Engineering
Q2287 / 693
大类:Engineering
小类:Condensed Matter Physics
Q2184 / 411
大类:Engineering
小类:Atomic and Molecular Physics, and Optics
Q287 / 192
大类:Engineering
小类:Electronic, Optical and Magnetic Materials
Q2120 / 246

期刊简介The Journal of Micro/Nanolithography, MEMS, and MOEMS (JM3) publishes peer-reviewed papers on the science, development, and practice of lithographic, fabrication, packaging, and integration technologies necessary to address the needs of the electronics, microelectromechanical systems, micro-optoelectromechanical systems, and photonics industries.
期刊官方网站http://www.spie.org/publications/journals/journal-of-micro/nanolithography-mems-and-moems
期刊投稿网址https://jm3.msubmit.net/cgi-bin/main.plex
是否OA开放访问No
通讯方式SPIE-SOC PHOTOPTICAL INSTRUMENTATION ENGINEERS, 1000 20TH ST, PO BOX 10, BELLINGHAM, USA, WA, 98225
出版商SPIE
涉及的研究方向ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC-NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY
出版国家或地区UNITED STATES
出版周期Quarterly
出版年份2007
年文章数 52登录查看年文章数趋势图
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